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迫擊炮與量產

 

 

1958年9月1日,就在基爾比在實驗室裡摸索的那個關鍵的夏天將盡,傑伊.萊斯羅普(Jay Lathrop)把車開進停車場,1正式到德州儀器上班。萊斯羅普和諾伊斯是麻省理工的同學,他從麻省理工畢業後,曾到一個隸屬美國政府的實驗室工作,設計一種近距引信(proximity fuse),讓81毫米的迫擊炮彈在目標的上方自動引爆。他原本也像快捷半導體的工程師一樣,為台面式電晶體苦惱,因為那種電晶體很難縮小。現有的製程需要在半導體材料的某些部分上放置特殊形狀的蠟球,然後使用特殊的化學物質清洗未覆蓋的部分。製造更小的電晶體需要更小的蠟球,但是要維持這些蠟球的正確形狀實在是困難重重。

用顯微鏡觀察電晶體時,萊斯羅普和擔任其助手的化學家詹姆斯.納爾(James Nall)有了一個想法:顯微鏡的鏡頭可以放大東西。如果他們把顯微鏡顛倒過來,鏡頭就可以縮小東西。他們能不能用鏡頭把一個大圖「印」到鍺上,藉此在鍺片上製作微型台面呢?相機公司柯達(Kodak)有賣一種叫做「光阻劑」(photoresists)的化學物質,這種物質在光照下會發生反應。

萊斯羅普在一塊鍺片上塗了柯達的一種光阻劑,那種化學物質在光照下會消失。接著,他把顯微鏡顛倒過來,在鏡頭上蓋上一個圖案,讓光只能穿過一個矩形區域。光線照過圖案,透過鏡頭照出一個矩形。當光線聚焦到塗了光阻劑的鍺片時,顛倒的顯微鏡縮小了尺寸,讓光線創造出一個形狀完美的微小矩形圖案。光線照射到光阻劑時,化學結構發生變化,使光阻劑消失,留下一個微小的矩形洞,遠比任何蠟球還小,而且形狀更精確。不久,萊斯羅普發現,他也可以添加一層超薄的鋁層來連接鍺片與外部電源,藉此印出「電路」。

萊斯羅普把這個流程稱為微影成像(photolithography),亦即光投影印刷技術。他製造的電晶體遠比之前的小,直徑僅0.1吋,高度僅0.0005吋。微影成像技術使量產微型電晶體變得有可能。萊斯羅普於1957年為這項技術申請了專利。後來在軍樂隊的伴奏下,軍方為他的研究頒給他一枚獎章與25000美元獎金,他用那筆錢為家人買了一輛Nash Rambler旅行車。

海格底與基爾比立刻意識到,萊斯羅普的微影成像製程遠比軍方給他的25000美元獎金的價值更高。義勇兵二號導彈計畫需要成千上萬個積體電路,阿波羅太空船需要的更多。海格底與基爾比知道,光線與光阻劑可以解決量產問題,以手工焊接電線所辦不到的方式把晶片製造加以機械化及微型化。

不過,在德儀落實萊斯羅普的微影成像技術,需要新的材料與新的製程。柯達光阻劑的純度不足以量產,因此德儀自己買了離心機,對柯達提供的化學物質再加工。萊斯羅普為了尋找「光罩」,搭火車跑遍了全美各地。這種光罩是用來把光影精確地投射在覆蓋著光阻劑的半導體材料上,以蝕刻電路。但跑遍全美各地後,他的結論是現有的光罩都不夠精準,所以德儀也決定自己生產光罩。基爾比的積體電路所需要的是超純矽,遠比任何公司銷售的還純。因此,德儀也開始生產自己的矽晶圓。

一切都標準化以後,就可以量產了。通用汽車可以把完全相同的汽車零組件,裝配到所有的雪佛蘭汽車中。但是半導體不一樣,德州儀器這些公司並沒有工具可以判斷積體電路的所有元件的品質與狀態是否都一樣。化學物質裡有當時還無法檢測出來的雜質。溫度與壓力的變化會引發意想不到的化學反應。灰塵顆粒可能污染投射光線的光罩,一個雜質就可能毀掉整個製程。唯一的改進方法是反覆地試誤,所以德儀安排了數千次實驗,評估不同的溫度、化學組合、製程的影響。基爾比每週六都在德儀的走廊上走來走去2檢查工程師的實驗。

德儀的生產工程師瑪麗.安.波特(Mary Anne Potter)花了幾個月的時間做3全天候的測試。波特是第一位從德州理工大學獲得物理學學位的女性,德儀雇用她來擴大義勇兵導彈的晶片生產。為了確保實驗按計畫進行,她經常上夜班,從晚上11點工作到早上8點。收集資料需要先花好幾天做實驗。接著,波特要對資料進行回歸分析,用計算尺來計算指數與平方根,然後把結果畫在圖表上再加以解讀——這一切都是手工完成。這是一個緩慢、費力又痛苦的過程,完全靠人腦來處理數字。然而,當時德儀除了試誤法,別無他法。

張忠謀與萊思羅普在同年(1958年)4加入德州儀器,他負責一條電晶體的生產線。此時距離他當年為了躲避不斷進擊的共軍而逃離上海,已過了近十年。他從上海逃到香港,接著遠走波士頓,錄取哈佛大學,成為哈佛大一新生中唯一的中國學生。他在哈佛讀了一年莎士比亞之後,開始擔心自己的職業前景。他回憶道:「那時華裔美國人開洗衣店,開餐館。1950年代初期,華裔美國人唯一可以認真寄望的中產階級職業,是走技術路線。」張忠謀認為,機械工程似乎比英國文學更穩當,便轉學到麻省理工學院就讀。

畢業後,張忠謀先到大型電子公司喜萬年(Sylvania)任職,喜萬年在波士頓的郊外設有工廠,張忠謀負責提高喜萬年的製造「良率」(亦即電晶體可實際運作的比例)。張忠謀白天改善喜萬年的製程,晚上研讀蕭克利的《半導體中的電子與電洞》(Electrons and Holes in Semiconductors),那本書是早期半導體電子學的聖經。在喜萬年三年後,張忠謀被德儀錄取,搬到德州達拉斯——他記得那裡是「牛仔之鄉」,是「一塊牛排95美分」的地方。他在德儀負責經營專為IBM電腦生產的一條電晶體生產線。他回憶道,那種電晶體很不穩,德儀的良率接近於零。幾乎所有產出的電晶體都有製造缺陷,導致電路短路或故障,5而必須報廢。

張忠謀是橋牌高手,他處理製程就像玩他最愛的紙牌遊戲一樣有條不紊。一加入德儀,他就開始系統化地調整不同化學物質結合時的溫度與壓力,判斷哪種組合的效果最好。他憑直覺處理資料的方式,令同事嘆服又敬畏。一位同事回憶道:「與他共事要很謹慎,他坐在那兒抽著菸斗,隔著煙霧盯著你。」為他工作的德州人認為他「像佛陀一樣」。煙霧的背後,是一顆無人能及的大腦。一位同事回憶道:「他對固態物理學瞭若指掌,足以凌駕任何人。」他也是出了名的嚴格上司,一位下屬回憶道:「張忠謀很會訓人,如果你沒有被他痛罵過,6那不算待過德儀。」儘管如此,張忠謀的做法確實看到了成效。幾個月內,那條電晶體生產線的7良率大幅提升到25%。美國最大科技公司IBM的高階主管還8到達拉斯學習他的方法。不久,張忠謀就掌管了德儀的整個積體電路事業。

諾伊斯與摩爾跟張忠謀的想法一樣,他們都認為只要能做到量產,晶片業的成長就沒有極限。諾伊斯與萊斯羅普是麻省理工學院的同學,兩人讀研究所時曾一起去爬新罕布夏州的山。諾伊斯得知萊斯羅普發明了一種可改變電晶體製造的技術,馬上聘請萊思羅普的實驗室夥伴納爾來快捷半導體開發微影成像。諾伊斯認為:「做不到這件事,9公司就不用開了。」

改進快捷半導體的製程,有賴像葛洛夫那樣的生產工程師。1956年,葛洛夫逃離匈牙利的共產政權,以難民的身份抵達紐約之後,靠自己努力進入柏克萊攻讀博士學位。1962年,他寫信到快捷半導體求職,但被告知以後再試,那封拒絕信寫道:「我們希望年輕人去其他公司應徵後,再來找我們面試。」葛洛夫回憶道,快捷半導體的拒絕信給人「高傲臭屁」的感覺,這也是後來矽谷給人的形象——狂妄傲慢。但隨著外界對快捷的半導體需求增加,快捷突然亟需化學工程師。快捷的主管打電話到柏克萊,請校方提供化學系最優秀的學生名單。葛洛夫在那份名單上名列前茅,因此被叫去帕羅奧圖與摩爾會面。葛洛夫回憶道:「10我們倆一拍即合。」他於1963年加入快捷,餘生致力與諾伊斯及摩爾一起打造晶片業。

發明電晶體的諾貝爾獎頒給了蕭克利、巴丁與布萊頓。基爾比後來因發明第一個積體電路而獲得諾貝爾獎。如果諾伊斯不是在62歲過世,他理當可以和基爾比分享那個獎項。這些發明非常重要,但是光靠科學還不足以建立晶片業。半導體的發展不僅要靠學術物理學,也要靠精巧的製造技術。麻省理工學院與史丹佛等大學在發展半導體知識方面扮演關鍵要角,但晶片業之所以能夠崛起,是因為這些院校的畢業生花了數年的功夫去調整製程,做到量產。把貝爾實驗室的一項專利變成一個改變世界的產業,靠的不只是科學理論,也有賴工程學與直覺。

一般普遍認為,蕭克利是他的世代中最卓越的理論物理學家之一。他最終放棄了追求財富及登上《華爾街日報》的夢想,在奠定電晶體的理論方面,貢獻卓著。但是真正把蕭克利的電晶體變成實用的產品(晶片),並將它賣給美國軍方,同時學習如何量產的,則是那八名拋棄蕭克利公司的叛逆工程師,以及德州儀器的另一群人。1960年代中期,掌握這些能力的快捷半導體與德儀,面臨著一項新的挑戰:如何把晶片轉變成大眾市場的產品。